> 科技

科技

汇专超声机床实现CVD碳化硅SiC喷淋盘阶梯孔高精稳定加工

汇专超声机床实现CVD碳化硅SiC喷淋盘阶梯孔高精稳定加工
碳化硅(SiC)是一种性能优异的结构陶瓷材料,因具备密度高、热传导率高、弯曲强度大、弹性模数大、抗腐蚀性强、耐高温等特性,成为半导体制造的理想材料。其中,通过化学气相沉积(CVD)工艺制备的碳化硅材料,兼具......

Copyright © 2024 封面快讯 All Rights Reserved.

本站部分内容来源于用户投稿,内容相关Q:230098551